IMS- Micro/Nano Fabrication Facility
Baseline Spreadsheets 

Furnace

                Tystar Mini 1

                Tystar Mini 2

                Tystar Mini 3

                Tystar Nitride 4

                Tystar Poly 3

                Tystar Poly 4

PECVD

                STS PECVD 3

                Unaxis PECVD

                Oxford ICP PECVD