IMS- Micro/Nano Fabrication Facility
Materials >Deposition tools

 

These charts (Dielectric Deposition | Metal Depostion) are for quick reference. For the latest up to date information, use the search in the top menu bar to look for equipment which deposit/etch the material. 

Dielectrics Deposition 

 
ALDS		 Al2O3   Er2O3    HfO2   SiOx   TiO2   ZnO   ZrO2   AlN   HfN   Si3N4   TiN   ZrN
Cambridge Nanotech Plasma ALD (left-Marcus) x                           x                
Cambridge Nanotech Plasma ALD (right-Marcus) x       x   x   x   x   x   x   x   x   x   x
CtrLayer  ALD 1 (Marcus)                                              
CrtLayer ALD 2 (Marcus) x   x   x                                    
 
EVAPORATORS		 Al2O3   Er2O3    HfO2   SiOx   TiO2   ZnO   ZrO2   AlN   HfN   Si3N4   TiN   ZrN
CHA E-beam Evaporator 1 (dielectrics- Marcus) x           x   x                            
 
SPUTTERERS		 Al2O3   Er2O3    HfO2   SiOx   TiO2   ZnO   ZrO2   AlN   HfN   Si3N4   TiN   ZrN
Denton Discovery RF/DC Sputterer                                              
Denton Discovery 2 RF/DC Sputterer                                              
PVD75 RF Sputterer                                              
 
PECVDS		 Al2O3   Er2O3    HfO2   SiOx   TiO2   ZnO   ZrO2   AlN   HfN   Si3N4   TiN   ZrN
Oxford ICP-PECVD             x                       x        
STS PECVD 2             x                       x        
STS PECVD 3             x                       x        
Unaxis PECVD             x                       x        
 
FURNACE		 Al2O3   Er2O3    HfO2   SiOx   TiO2   ZnO   ZrO2   AlN   HfN   Si3N4   TiN   ZrN
Lindberg Furnance 1 (CMOS Sinter)                                              
Lindberg Furnance 2 (Polymer Cure)                                              
Lindberg Furnance 3 (Oxidation Tube)             x                                
Lindberg Furnance 4 (Polymer Cure)                                              
MRL Furnace Tube 3             x                                
MRL Furnace Tube 4                                              
Tystar Nitride Furnace 1                                              
Tystar Nitride Furnace 2                                              
Tystar Nitride Furnace 3                                              
Tystar Nitride Furnace 4                                     x        
Tystar Mini Tube 1             x                                
Tystar Mini Tube 2             x                                
Tystar Mini Tube 3                                              
Tystar Poly Furnace 1                                              
Tystar Poly Furnace 2                                              
Tystar Poly Furnace 3                                              
Tystar Poly Furnace 4                                              
Schmid APCVD             x                                

Metal Depostion

 
ALDS		 Al   Cr   Cu   Au   Fe   Ni   Pd   Pt   Ru   Ag   Ta   Sn   Ti   W
Cambridge Nanotech Plasma ALD (left-Marcus)                             x                        
 
EVAPORATORS		 Al   Cr   Cu   Au   Fe   Ni   Pd   Pt   Ru   Ag   Ta   Sn   Ti   W
CHA E-beam Evaporator 2 (metals-Marcus) x   x   x   x   x   x   x           x       x   x    
CrtLayer Anti-Reflective Coater                                                      
CVC E-Beam Evaporator 1 (Petitt) x   x       x   x   x   x   x       x       x   x    
CVC E-Beam Evaporator 2 (Instructional) x   x       x   x   x   x   x       x       x   x    
Denton Explorer E-Beam Evaporator (Marcus) x   x   x   x   x   x   x   x       x       x   x    
Denten Infinity E-Beam/Filament Evaporator (Marcus)         x                                       x    
Lesker E-beam Evaporator (Soft lithography lab)                                                      
PVD75 Filament Evaporator  (Marcus)         x   x                                        
 
SPUTTERERS		 Al   Cr   Cu   Au   Fe   Ni   Pd   Pt   Ru   Ag   Ta   Sn   Ti   W
CtrLayer Sputterer Deposition Systems (SDS)                                                      
CVC DC Sputter x   x   x       x   x   x   x   x       x           x
Denton Discovery RF/DC Sputterer                                                      
Denton Discovery 2 RF/DC Sputterer                                                      
Hummer 5 Gold/Palladium Sputterer             x                                        
Hummer XP Gold Sputterer             x                                        
PVD75 RF Sputterer x       x       x   x       x                        
Unifilm DC Sputterer     x   x   x               x           x       x   x

 

Related Links
IEN Tool Recipes
Contact Information
Hang Chen, Ph.D.
Process Support Manager
The Institute for Electronics and Nanotechnology at Georgia Tech
345 Ferst Drive, Atlanta GA, 30332 | 1152
404.894.3360 | hang.chen@ien.gatech.edu
Georgia Institute of Technology
Shared User Management System
791 Atlantic Drive
Atlanta GA 30332-0269 
© Georgia Institute of Technology