Furnaces:

Tystar Nitride #3              Tystar Nitride #4              Tystar Poly #3              Tystar Poly #4              Tystar mini #1              Tystar mini #2              Tystar min #3

Thin Film Equipment:

Unifilm Sputterer              Denton Explorer E-Beam Evaporator              CHA 2 E-beam Evaporator

Unaxis PECVD              STS 3 PECVD